著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
諏訪部 仁 and 上村 拓也 and 石川 憲一,両面ラッピング加工中のウェーハ挙動に影響を与える因子に関する研究,砥粒加工学会誌,0914-2703,公益社団法人 砥粒加工学会,2022-09-01,66,9,524-529,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390013795251495424,https://doi.org/10.11420/jsat.66.524