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董 沿伯 and 小森 望充 and 浅海 賢一,超電導コイル利用の超電導磁気軸受を用いたウェハ搬送装置の提案,電気関係学会九州支部連合大会講演論文集,,電気・情報関係学会九州支部連合大会委員会,2022-09-15,2022,0,137-137,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390013972156139648,https://doi.org/10.11527/jceeek.2022.0_137