著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
渋谷 道男 and 柴田 大輔 and 野村 光由,次世代半導体製品および超高純度ダイヤモンドウエハの開発,精密工学会誌,0912-0289,公益社団法人 精密工学会,2023-05-05,89,5,355-358,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390014514025106048,https://doi.org/10.2493/jjspe.89.355