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松谷 晃宏 and 石割 文崇 and 庄子 良晃 and 上原 卓也 and 中川 勝 and 福島 孝典,Cl<sub>2</sub>-誘導結合型プラズマエッチングにおけるヤヌス型トリプチセンTripC<sub>12</sub> のエッチング特性の評価,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2014-09-01,2014.2,0,251-251,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390014945748538496,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_251