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三部 竜太郎 and 佐竹 うらら and 榎本 俊之,シリコンウェーハの両面研磨加工におけるウェーハフラットネスの向上,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2023-03-01,2023S,0,154-155,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390015830352814592,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2023s.0_154