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久米 達哉 and 三部 勉 and 道畑 正岐 and 高橋 哲,過酷環境下にて動作する高安定アライメントモニターの開発（第2報）,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2023-03-01,2023S,0,445-446,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390015830352995968,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2023s.0_445