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上野 耕平 and 岸川 英司 and 井上 茂 and 太田 実雄 and 藤岡 洋 and 尾嶋 正治 and 福山 博之,窒化サファイア基板上に成長したAlN薄膜の高品質化,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2012-02-29,2012.1,0,3536-3536,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390016649279996544,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.1.0_3536