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市橋 岳 and 龍頭 啓充 and 竹内 光明 and 高岡 義寛,水クラスターイオンビーム照射によるアクリル基板のスパッタリング,JSAP Annual Meetings Extended Abstracts,2436-7613,The Japan Society of Applied Physics,2011-03-09,2011.1,0,1744-1744,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390017300967010304,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.1.0_1744