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國井 一輝 and 荻野 明久 and 永津 雅章,空洞共振器型ランチャーを用いた915MHz UHF波励起大面積表面波プラズマの生成,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2011-03-09,2011.1,0,1796-1796,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390017300967016320,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.1.0_1796