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木下 亮祐 and 曹 健傑 and 孫 栄硯 and 大久保 雄司 and 山村 和也 and 青木 一史,電気化学機械研磨におけるSiCの高能率スラリーレス加工法の開発（第11報）,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2023-08-31,2023A,0,684-684,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390017843875428224,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2023a.0_684