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井上 凱喜 and 古庄 智明 and 沓掛 健太朗 and 原田 俊太 and 田川 美穂 and 宇治原 徹,SiC昇華法における機械学習を用いた炉内温度分布最適化,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2021-08-26,2021.2,0,3021-3021,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390020132252078976,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_3021