著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 相原 卓磨 and 開 達郎 and 西 英隆 and 土澤 泰 and 松尾 慎治,ECR-PECVD法を用いて低温作製した光周波数コム発生器,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2022-02-25,2022.1,0,1084-1084,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390022457810858112,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1084