著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
伊藤 仁 and 守屋 孝彦,タングステン選択ＣＶＤ技術とその超ＬＳＩプロセスの応用,日本金属学会会報,0021-4426,社団法人 日本金属学会,1989,28,1,48-54,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679032004608,https://doi.org/10.2320/materia1962.28.48