著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 櫻井 篤士 and 青井 芳史 and 上條 栄治,セラミックスナノ積層多層薄膜の合成と機械特性,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,2004,47,3,197-199,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679039932032,https://doi.org/10.3131/jvsj.47.197