著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 伊藤 明子 and 中沢 優 and 上田 新次郎,有限要素法による真空排気シミュレータ,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1987,30,5,420-424,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679039949952,https://doi.org/10.3131/jvsj.30.420