著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
中澤 伸彦 and 大浦 久美 and 沈 国華,円環配置型スパッタイオンポンプの開発,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,2004,47,3,255-257,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679039971072,https://doi.org/10.3131/jvsj.47.255