著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 楠 美智子 and 鈴木 敏之 and 平山 司 and 柴田 典義,炭化ケイ素表面における高配向カーボンナノチューブ薄膜の作製,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,2002,45,2,75-79,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679040070144,https://doi.org/10.3131/jvsj.45.75