著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 成田 重美,真空部品と光学部品,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1987,30,12,1022-1023,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679040167936,https://doi.org/10.3131/jvsj.30.1022