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金山 敏彦 and 多田 哲也 and 古賀 健司,金属クラスターを形成核とするナノ構造のエッチング加工,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1999,42,2,91-96,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679040225792,https://doi.org/10.3131/jvsj.42.91