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戸坂 亜希 and 西口 哲也 and 野中 秀彦 and 一村 信吾,オゾン濃度その場測定によるＵＶ光励起オゾン低温酸化プロセス中のＯ（｀１´Ｄ）の時間分布の解析,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,2006,49,3,123-125,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679040282240,https://doi.org/10.3131/jvsj.49.123