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川田 博昭 and 彌永 英倫 and 松永 崇 and 村田 顕二,誘導結合型プラズマにおける高周波電流測定の改善とその応用,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,2000,43,3,357-360,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679040287104,https://doi.org/10.3131/jvsj.43.357