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木村 勲 and 西岡 浩 and 菊地 真 and 鄒 紅コウ,高周波マグネトロンスパッタリング法によるＰｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３圧電薄膜の量産技術,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,2006,49,3,174-176,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679040311296,https://doi.org/10.3131/jvsj.49.174