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相川 純一 and 菅家 幸雄 and 湯山 純平,ドライポンプ アルミニウム合金を用いたドライ真空ポンプと反応性ガスの排気,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,2000,43,5,564-571,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679040345088,https://doi.org/10.3131/jvsj.43.564