著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 澤田 雅,ドライポンプ 各種ドライポンプの現状と課題,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,2000,43,5,557-563,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679040347392,https://doi.org/10.3131/jvsj.43.557