著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 一山 正則 and 沢平 嘉浩 and 黒田 靖信 and 佐藤 彰繁 and 北河 勝 and 菊地 直人 and 草野 英二 and 南戸 秀仁 and 金原 粲,組成傾斜構造とAr圧がZrN/Zr/ZrO2とZrN/ZrO2膜の硬さ及び付着力に与える影響,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1999,42,3,167-170,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679040377856,https://doi.org/10.3131/jvsj.42.167