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真壁 保志 and 広畑 優子 and 日野 友明 and 山科 俊郎,Ｍｏスパッタ膜の微視的形態に及ぼす電力密度の影響 表面粗さ測定による評価,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1991,34,3,204-207,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679040408960,https://doi.org/10.3131/jvsj.34.204