著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
上坂 裕之 and 飯田 斉 and 梅原 徳次,金属体に沿って伝搬するマイクロ波による高密度プラズマ生成,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,2006,49,3,183-185,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679040411392,https://doi.org/10.3131/jvsj.49.183