著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
堀井 (前田) 直宏 and 沖村 邦雄 and 井上 昭浩,Ｘｅ２エキシマーランプを用いた有機シリコン原料の気相における光分解,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,2000,43,3,288-291,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679040430720,https://doi.org/10.3131/jvsj.43.288