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稲吉 さかえ and 斎藤 一也 and 角谷 透,シリコン‐炭素成膜によるステンレス鋼の水放出速度低減化,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,2003,46,8,613-618,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679040593152,https://doi.org/10.3131/jvsj.46.613