著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
岡田 修身,低温プラズマと工学 ＩＩＩ 企業の立場から,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1985,28,4,168-176,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679040707200,https://doi.org/10.3131/jvsj.28.168