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谷 庸治 and 青井 芳史 and 上條 栄治,電子サイクロトロン共鳴スパッタリング法による窒化炭素薄膜の合成,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1998,41,5,512-515,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679040747776,https://doi.org/10.3131/jvsj.41.512