磁気軸受とターボ分子ポンプ

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タイトル別名
  • Magnetic bearing and turbo molecular pump.
  • ジキ ジクウケ ト ターボ ブンシ ポンプ

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記事分類: 機械工学--流体機械--ポンプ

収録刊行物

  • 真空

    真空 31 (2), 87-93, 1988

    一般社団法人 日本真空学会

被引用文献 (1)*注記

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