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高浜 圀彦 and 青江 弘行 and 花房 寛 and 河原 桂太 and 森本 佳宏,三次元回路素子における低温エピタキシー,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1984,27,6,517-521,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679041054592,https://doi.org/10.3131/jvsj.27.517