著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
黒河 治重 and 柴田 英治,減圧ＣＶＤ装置の現状と技術的課題,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1985,28,3,113-118,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679041267840,https://doi.org/10.3131/jvsj.28.113