著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
岡田 隆 and 鵜飼 勝三 and 塚田 勉,ドライエッチング装置における安全対策,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1985,28,3,119-124,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679041268992,https://doi.org/10.3131/jvsj.28.119