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金戸 成 and 橋本 祥一 and 西出 昭彦 and 井口 昌司 and 及川 永,大型アルミニウム合金製ターボ分子ポンプ,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1984,27,5,429-432,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679041408512,https://doi.org/10.3131/jvsj.27.429