著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
楊 偉毅 and 黒田 司 and 中村 勝吾,Ｓｉ表面におけるＴｉＳｉ２の膜の成長と酸化,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1985,28,1,30-41,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679041491712,https://doi.org/10.3131/jvsj.28.30