著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 中嶋 薫 and 鈴木 基史 and 木村 健二,高分解能ラザフォード後方散乱分光法(高分解能RBS)を用いた界面近傍の格子ひずみ測定,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,2006,49,5,286-289,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679041514880,https://doi.org/10.3131/jvsj.49.286