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岡山 英夫 and 久保 吏 and 望月 則孝 and 長田 昭義 and 伊佐 弘,マイクロ波プラズマ化学気相成長による燃料電池用マグネシア安定化ジルコニア薄膜の作製,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1997,40,8,660-663,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679041571328,https://doi.org/10.3131/jvsj.40.660