著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
井口 征夫 and 鈴木 一弘 and 大久保 治 and 高橋 夏木,連続イオンプレーティング装置の差圧気密機構,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1998,41,8,703-708,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679041880832,https://doi.org/10.3131/jvsj.41.703