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原 仁 and 岸 直輝,誘導結合高周波プラズマ支援マグネトロンスパッタによる光学多層膜フィルタの作製と二酸化炭素濃度検出への応用,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,2001,44,4,440-444,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679041884672,https://doi.org/10.3131/jvsj.44.440