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内田 悦行 and 蟹江 徹雄 and 佐合 祐稔 and 堀 勝 and 服部 秀三 and 松井 圭司 and 大塚 寿次 and 永松 洋介,４そう回転型プラズマ成膜現像電子線真空リソグラフィ装置,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1986,29,5,424-428,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679041894784,https://doi.org/10.3131/jvsj.29.424