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後藤 真宏 and 笠原 章 and 土佐 正弘 and 吉原 一紘,エキシマレーザー照射による銅窒化ホウ素混合薄膜の摩擦特性改善,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,2002,45,12,858-861,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679041953280,https://doi.org/10.3131/jvsj.45.858