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辻 博司 and 岡山 芳央 and 豊田 啓孝 and 後藤 康仁 and 石川 順三,高周波プラズマスパッタ型負重イオン源における気体材料の負イオン生成,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1995,38,3,218-220,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679042002560,https://doi.org/10.3131/jvsj.38.218