著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 山中 陽一郎 and 棚橋 克人 and 三箇山 毅 and 井上 直久 and 森 篤史,Czochralskiシリコン結晶中の空洞核形成機構の考察,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,2002,45,1,32-35,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679042144256,https://doi.org/10.3131/jvsj.45.32