著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 佐藤 行成,微粒子の計測技術 エアロゾルから真空ダストへ,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1990,33,12,900-908,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679042147968,https://doi.org/10.3131/jvsj.33.900