著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
川田 洋揮 and 山根 未有希 and 鈴木 慎一,真空利用プロセスの診断と制御 最近の進展 ドライエッチャ処理室内の堆積物のｉｎ ｓｉｔｕ分析,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,2001,44,7,624-630,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679042164608,https://doi.org/10.3131/jvsj.44.624