著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
鵜飼 勝三,真空利用プロセスの診断と制御 最近の進展 プロセスガスの排気と環境管理 省エネ・プロセスガスのリサイクル,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,2001,44,7,639-648,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679042165632,https://doi.org/10.3131/jvsj.44.639