著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
塩崎 忠 and 清水 勝 and 大西 新造 and 川端 昭,プレーナマグネトロンスパッタ法およびＣＶＤ法によるＺｎＯ薄膜の作製と光導波路への応用,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1981,24,2,49-59,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679042178304,https://doi.org/10.3131/jvsj.24.49