著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
土師 宏 and 有田 潔,プラズマ洗浄と半導体組み立て工程への応用,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,2000,43,6,647-653,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679042316032,https://doi.org/10.3131/jvsj.43.647